向水中噴注臭氧是用臭氧化氣來(lái)完成的，工藝氣體的起始濃度在4.17×10^-4mol/L（20g/m³）數(shù)量級(jí)。假設(shè)一般接觸裝置的實(shí)際效率90%，尾氣中臭氧濃度可能達(dá)到4.17×10^-5mol/L（2g/m³）。在重復(fù)噴射或預(yù)臭氧化中，尾氣中的最終損耗能達(dá)到4.17×10^-6~1.04×10^-5mol/L（0.2~0.5g/m³）的程度。

臭氧的極限值（TLV）為4.46×10^-9mol/L，或大約0.2mg/m³，而當(dāng)停留時(shí)間短于30min時(shí)，可允許1.25×10^-8mol/L（0.6mg/m³）的濃度。臭氧的毒性特別是環(huán)境濃度高于TLV或最大容許濃度值（MAC）的毒性另有文獻(xiàn)評(píng)論。

含臭氧尾氣處理的另一問(wèn)題是同臭氧在大氣中可能產(chǎn)生的影響有關(guān)。在大多數(shù)地區(qū)，“天然”大氣臭氧濃度隨緯度在（0.179~1.79）×10^-8mol/L間變化，平均地面濃度在8.93×10^-10mol/L數(shù)量級(jí)。季節(jié)變化對(duì)這些濃度有重大影響。晝夜因素也影響地面臭氧濃度，人口稠密區(qū)最高臭氧濃度一般是在日沒(méi)時(shí)觀(guān)測(cè)到的。

根據(jù)最近有關(guān)臭氧在環(huán)境大氣中穩(wěn)定性的研究，臭氧在霧中的半衰期約為4~5h.，此問(wèn)題同因臭氧處理廠(chǎng)至住宅區(qū)的距離引起的爭(zhēng)議有關(guān)。

臭氧嗅味的檢測(cè)極限在（0.893~2.23）×10^-9mol/L的范圍內(nèi)。濃度達(dá)到1.34×10^-9mol/L以前人的工作能力是不受抑制的，在此濃度下的申訴仍屬于主觀(guān)上的。已有關(guān)于暴露在（0.893~1.34）×10^-9mol/L臭氧后無(wú)有害影響的報(bào)道。不危害植物生長(zhǎng)的地面臭氧限制濃度為4.46×10^-8。

有關(guān)操作區(qū)和設(shè)備的安全預(yù)防措施也必須加以考慮，文獻(xiàn)中已有評(píng)論。這些措施包括工作室的適當(dāng)通風(fēng)，與接觸池水連接嚴(yán)實(shí)，以及用來(lái)查出從連接到鋼筋混凝土接觸池的電纜和管路泄露的專(zhuān)用設(shè)備。必須特別強(qiáng)調(diào)的是要采取適當(dāng)措施將尾氣中的臭氧分解，同時(shí)還必須注意，為了保護(hù)檢測(cè)設(shè)備的電子器件，工作場(chǎng)所的通風(fēng)也是必要的。